滑閥式伺服閥
由永磁動圈式力馬達(dá)、一對固定節(jié)流孔、預(yù)開口雙邊滑閥式前置液壓放大器和三通滑閥式功率級組成。前置控制滑閥的兩個預(yù)開口節(jié)流控制邊與兩個固定節(jié)流孔組成一個液壓路。滑閥副的閥心（控制閥芯）直接與力馬達(dá)的動圈骨架相連，（控制閥芯）在閥套內(nèi)滑動。前置級的閥套又是功率級滑閥放大器的閥心。
輸入控制電流使力馬達(dá)動圈產(chǎn)生的電磁力與對中彈簧的彈簧力相平衡，使動圈和前置級（控制級）閥心（控制閥芯）移動，其位移量與動圈電流成正比。前置級閥心（控閥芯）若向右移動，則滑閥右腔控制口·面積增大，右腔控制壓力降低；左側(cè)控制口面積減小，左腔控制壓力升高。該壓力差作用在功率級滑閥閥心（即前置級的閥套）的兩端上，使功率級滑閥閥心主滑閥）向右移動，也就是前置級滑閥的閥套（主滑閥）向右移動，逐漸減小右側(cè)控制孔的面積，直至停留在某一位置。在此位置上，前置級滑閥副的兩個可變節(jié)流制孔的面積相等，功率級滑閥閥心（主滑閥）兩端的壓力相等。這種直接反饋的作用，使率級滑閥閥心跟隨前置級滑閥閥心運動，

一、 執(zhí)行器故障原因

1、檢查進(jìn)出口空濾減壓器氣源壓力是否達(dá)到額定值，視情況增加氣源壓力或更換空濾減壓器；

2、檢查電磁閥是否堵塞，換氣動作是否正常，根據(jù)情況清除堵塞或更換電磁閥；

3、檢查進(jìn)入執(zhí)行機(jī)構(gòu)的氣源壓力是否達(dá)到額定值，檢查調(diào)速器是否堵塞；

4、檢查閥門密封件摩擦是否過大，密封圈是否漏氣。

二、 執(zhí)行器移動，但扭矩不夠。

檢查油缸兩端的調(diào)整螺栓，根據(jù)關(guān)閉情況進(jìn)行調(diào)整，并鎖緊在正確位置。

三、 氣動球閥可以開關(guān)，但動作緩慢。

按下列條件檢查：

1、進(jìn)入執(zhí)行機(jī)構(gòu)前檢查速度控制器是否需要調(diào)整，因為隨著閥門使用壽命的增加，工藝管道和閥門本身的變化需要調(diào)整速度控制器；

2、檢查氣缸內(nèi)是否漏氣，氣缸內(nèi)O形圈損壞會導(dǎo)致閥門動作緩慢；

3、檢查彈簧是否正確否，推力減小；

4、檢查氣缸出口鎖止閥是否靈敏，氣缸排氣是否正常。

四、 執(zhí)行機(jī)構(gòu)工作正常，但閥門不工作。

原因可能如下：

功率級滑閥閥心的位移與動圈輸入電流大小成比。